세미콘덕터300, 300mm 웨이퍼 256MD램 샘플 출시

　미국 모토롤러사는 독일 인피네온과 합작 설립한 반도체 생산공장인 「세미컨덕터300」에서 300㎜ 웨이퍼 256MD램 파일럿 라인을 가동하기 시작했다고 6일 밝혔다.

　이번에 세미컨덕터300이 생산한 256MD램은 세계 반도체 업계 처음으로 300㎜ 웨이퍼를 사용한 제품으로 회로선폭 0.20미크론 이하의 초미세 가공기술을 사용해 반도체 크기를 최소화했다.

　모토롤러와 인피네온은 이미 지난달 중순 최근 세계적 반도체업체들이 주로 채택하고 있는 0.25미크론 회로선폭 가공기술을 이용한 300㎜ 웨이퍼 64MD램 양산에 나선 바 있다.

　세미컨덕터300에서는 또 이번에 300㎜ 웨이퍼 256MD램 시제품을 만들며 생산량 확대를 위해 웨이퍼 25장을 한꺼번에 처리할 수 있는 「25­웨이퍼 훕스(FOUPS:Front­Opening Unified Pods)」 기술을 처음으로 사용했다.

함종렬기자 jyham@etnews.co.kr