오성과학, 초소형 칠러 시장 진출

　반도체 장비 업체인 오성과학(대표 윤순광)이 프레온 가스 등의 유해 냉매를 사용하지 않는 초소형 칠러(Chiller)를 개발, 이 시장에 본격 진출한다.

　칠러는 반도체 제조과정의 노광 및 에칭 공정에서 과도한 열이 발생하는 전극판을 일정 온도로 유지시킴으로써 고온으로 인한 웨이퍼 파손 및 에러 발생을 방지해 주는 일종의 온도조절 장치다.

　이번에 개발한 제품은 「CX2000」과 「CX4000」 등 2개 기종으로 냉각 용량이 각각 2100W, 4200W며 냉각수 순환을 통해 영하10도 영상70도 범위의 온도 제어가 가능하다.

　특히 이 장비는 프레온 가스를 사용하던 기존 제품들과는 달리 고체 상태의 열전소자(Thermo Electric Heating & Cooling Module)를 이용한 무냉매 방식을 채택, 제품크기의 축소는 물론 환경문제도 해결했다. 오성과학은 이 장비의 개발 및 생산을 위해 일본 타이테크(TAITEC)사와 기술제휴를 체결했으며 최근 개발한 열전소자 방식 칠러 장비를 이미 국내 한 소자업체에 시험 공급했다.

　이에 따라 오성은 다음달부터 이 장비의 본격적인 양산에 착수, 내수시장 공급은 물론 대만·싱가포르 등 해외시장 개척도 적극 추진할 계획이다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>