국산 트랙장비 개발 활기

　반도체 노광 공정용 핵심설비인 트랙장비의 국내 개발·생산이 활기를 띠고 있다.

　25일 관련업계에 따르면 차세대 고집적 반도체 제조를 위한 DUV(Deep Ultra Violet)용 트랙장비의 양산라인 채택이 최근 본격화되면서 한국DNS와 실리콘테크 등 국내 주요 트랙장비 개발업체들의 제품 개발·공급에도 가속도가 붙고 있다.

　이에 따라 그동안 일본 도쿄일렉트론(TEL)이 60% 이상의 시장점유율을 보이며 절대적인 우위를 차지했던 국내 트랙장비시장도 이러한 국산제품의 잇따른 개발·출시로 전체적인 시장구도의 변화가 예상된다.

　특히 반도체 감광재료인 포토레지스트를 웨이퍼에 도포한 후 이를 다시 현상하는 일종의 코터 앤드 디벨로퍼(Coater & Developer) 설비인 트랙장비의 경우 1개 반도체 라인당 50대 이상씩 대량으로 소요되면서도 대당 제품가격은 20억원을 호가하는 고가장비라는 점에서 국산제품 채택 확대에 따른 시장 파급효과도 매우 클 것으로 업계는 보고 있다.

　이런 가운데 국내 최초로 DUV용 트랙장비 개발에 성공한 한국DNS(대표 박창현)는 지난해부터 국내외 주요 반도체업체에 자체 개발한 DUV용 트랙장비를 공급하기 시작한 데 이어 올해는 이의 양산에 착수, 트랙장비 분야에서만 총 1000억원 이상의 매출을 올릴 방침이다. 특히 이 회사가 개발한 DUV용 트랙장비는 20Å(옹스트롬) 이내의 균일한 도포능력과 15㎚(나노미터)급의 초정밀 현상능력을 보유함과 동시에 새로운 장비 설계기술의 도입으로 장비설치 면적을 40% 이상 줄임으로써 기존 외산장비에 비해 제품의 성능·가격 면에서 훨씬 우수한 것으로 평가받고 있다.

　최근 국내 트랙장비 분야의 새로운 강자로 급부상하고 있는 실리콘테크(대표 김민홍)도 케미컬 공급장치, 코터, 디벨로퍼, WEE(Wafer Edge Exposure)시스템 등과 같은 DUV 트랙장비용 핵심모듈을 잇따라 개발, 국내외 주요 반도체업체에 대량 공급하고 있다. 또한 이 회사는 그동안 쌓아온 트랙장비용 핵심모듈 생산기술을 바탕으로 DUV는 물론 300㎜ 웨이퍼와 같은 각종 차세대용 트랙시스템도 개발, 곧 출시할 방침이다.

　이밖에 화학증착(CVD)장비 전문업체인 아펙스(대표 감상호)도 최근 독일의 페어차일드 테크놀로지사와 기술제휴를 맺고 트랙장비의 국내생산을 추진하고 있다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>