핸손테크놀로지, 다목적 플라즈마 발생.측정기 국내 첫 상용화

　그동안 독일·미국 등에서 전량 수입해 왔던 플라즈마 발생 및 측정 장비가 국내 기술로 개발됐다.

　계측기 전문업체인 핸손테크놀로지(대표 강호준)는 지난 97년부터 한국과학기술원 장홍영 교수팀(물리학과), 서울대 황용석 교수팀(핵물리학과)과 공동 개발에 나섰던 다목적 플라즈마 발생 및 측정 장비 상용화에 성공했다고 23일 밝혔다.

　「EREPS」라 이름붙인 이 시스템은 진공시스템·체임버·플라즈마 소스 등으로 구성돼 있으며 TCP·ICP·CCP·헬리콘(Helicon)과 같은 각종 플라즈마 소스를 쉽게 증착할 수 있도록 설계함에 따라 하나의 시스템으로 다양한 종류의 플라즈마를 발생시킬 수 있다. 또 랑뮤(Langmuir) 진단기를 이용하면 플라즈마 상태에서 IV·에너지밀도·방사 측정 등을 할 수 있다.

　이 시스템의 가장 큰 장점은 측정 및 데이터 분석 프로그램을 자체 개발하고 각 부분을 모듈 단위로 구성해 부품 교체와 시스템 업그레이드가 용이하다는 점이다.

　이 회사 강호준 사장은 『사용하기 어렵고 가격이 비싼 외산 제품과 달리 편리하고 가격이 저렴해 연간 150억원 정도의 수입대체 효과가 기대된다』고 밝혔다.

　이 제품은 반도체 제조공정이나 각종 물성 실험에서 필요로 하는 다양한 플라즈마 상태를 인공적으로 발생시키고 그 상태를 정밀하게 진단할 수 있는 장비다.

<강병준기자 bjkang@etnews.co.kr>