<인터뷰> 한양대 박재근 교수

　『이번에 개발한 슈퍼 실리콘 웨이퍼는 웨이퍼업계의 30년 숙원이던 「무결정결함」과 「중금속 오염 저감」이라는 두가지 난제를 동시에 해결한 것입니다』

　이번 개발작업을 주도한 한양대 박재근 교수는 반도체의 고집적화가 진전될수록 슈퍼 실리콘 웨이퍼는 소자업계의 대안 없는 선택이 될 것이라고 자신있게 말했다.

　-슈퍼 실리콘 웨이퍼가 반도체용 웨이퍼시장의 판도를 바꿀 것으로 생각하는 이유는.

　▲현재 반도체업계가 사용하는 폴리시드 웨이퍼의 최대 결점으로 꼽히는 결정결함과 중금속 오염이라는 문제를 해결하기 위한 여러가지 형태의 기술적 접근이 시도됐지만 완벽한 해결책은 내놓지 못했다. 반면 이번에 우리가 개발한 기술은 이 두가지 문제를 실리콘 성장단계에서 원천적으로 해결한 것이다. 더욱이 생산비용의 상승 없이 거의 완벽에 가까운 웨이퍼를 만들 수 있다. 소자업체들에 대안이 있을 수 없다.

　-이번 기술개발의 파급효과는.

　▲이미 지난해 세계 최대 웨이퍼 가공업체인 일본 신에쓰와 미쓰비시에 1000만달러 가량의 로열티를 받고 무결정결함 웨이퍼 기술을 이전시킨 데 이어 최근에는 이들 업체들과 슈퍼 실리콘 웨이퍼 제조 관련 기술 이전 협의도 진행중이다. 조만간 슈퍼 실리콘 웨이퍼가 전세계 웨이퍼시장의 표준 제품으로 자리잡을 것이다. 특히 이러한 슈퍼 실리콘 웨이퍼 제조기술을 외국이 아닌 국내 연구진이 개발함으로써 삼성전자를 비롯한 국내 반도체업체들의 제품 경쟁력 향상에도 큰 도움이 될 것으로 기대한다.

　-앞으로의 계획은.

　▲슈퍼 실리콘 웨이퍼의 진가는 300㎜ 웨이퍼에서 나타날 것이다. 우선은 300㎜ 웨이퍼에 이 기술을 적용시키는 데 주력할 계획이다.

　한편 지난해 삼성전자에서 표면 결정결함이 없는 웨이퍼를 개발해 세계 웨이퍼·반도체업계를 주목시켰던 박 교수는 지난 3월 한양대 교수로 자리를 옮겨 삼성전자의 기술 고문을 겸임하면서 한양대 부설 첨단 반도체 소재·소자 개발연구소에서 관련 연구를 계속하고 있다.

<최승철기자 scchoi@etnews.co.kr>