美어플라이드, 구리칩 제조장비 발표

　미국 반도체 제조장비업체인 어플라이드 머티리얼스가 구리칩 제조장비 2종을 발표했다고 「로이터통신」이 보도했다.

　세계 최대 장비업체인 이 회사의 구리칩 제조장비 발표는 반도체업계의 구리칩 생산확대로 이어질 것으로 전망되고 있다.

　구리칩은 지난 97년 IBM이 처음 생산기술을 발표한 이래 주요 반도체 제조업체들이 앞다퉈 개발 혹은 생산에 나서고 있는 차세대 반도체다.

　구리칩은 전기전도체로 기존의 알루미늄 대신 구리를 사용해 칩의 성능을 향상시키는 것으로 평가받고 있으나 이의 제조에 필요한 충분한 장비가 개발되지 않아 양산에 어려움을 겪어왔다.

　어플라이드의 이번 구리칩 제조장비 발표는 반도체 제조업체들의 이같은 애로를 어느 정도 해결해 주는 계기가 될 것으로 예상된다.

<오세관기자 skoh@etnews.co.kr>