日 고마쓰, 엑시머레이저 소스 공급 계약

일본 고마쓰가 차세대 반도체 제조에 필요한 초미세 가공용 레이저 소스 사업에 본격 참여한다.

「일본경제신문」은 최근 고마쓰가 니콘, 캐논, ASM리소그라피 등 세계 3대 반도체제조장비업체와 스테퍼용 엑시머레이저 소스 공급 계약을 체했다고 보도했다.

이에 따르면 일본업체인 니콘과 캐논은 올해 엑시머레이저 스테퍼 국내 출하분의 50%에 고마쓰의 레이저 소스를 탑재한다. 또 네덜란드 필립스 산하업체인 ASM리소그라피도 4월부터 고마쓰와 레이저 소스 공동 개발 체제를 구축, 올해안에 이를 채용한 스테퍼를 출하할 계획이다.

니콘, 캐논, ASM리소그라피 3사는 세계 스테퍼 시장의 90%를 장악하고 있는 대형 업체들로 이들 3사의 고마쓰 제품 채용이 본격화될 경우 세계 엑시머레이저 소스 시장 구도에 변화가 올 것으로 예상된다.

엑시머레이저 소스는 차세대 반도체 회로 형성에 필요한 0.25미크론 이하 초미세가공용 스테퍼에 사용되는 주요 부품으로 지금까지 이 시장은 미국 사이머가 독점해왔다.

<심규호 기자>