지원화학, 반도체용 무기화합물 세정제 수출 "포문"

화학약품 업체인 지원화학(대표 이기원)이 자체 개발한 반도체 및 LCD용 무기화합물 세정제인 「GST-500」과 「FST-100」 제품을 본격적으로 수출한다.

이 회사는 최근 일본 마쯔시다社의 중국 및 말레이시아 공장과 대만 지역 중화영관, 테코, 필립스 등의 업체에 「GST-500」과 「FST-100」 제품을 공급키로 계약을 체결하고 이에 따른 최종 적용 테스트 및 제조 라인 변경을 현재 진행중이라고 4일 밝혔다.

지원화학이 개발한 「GST-500」과 「FST-100」은 웨이퍼 및 디스플레이 장치의 성형가공시 각종 이물질들을 세척하는데 사용되는 무기화합물 세정제로 종전까지 사용돼온 불화수소산(HF) 및 질산(HNO3)에 비해 세정효과가 우수하고 사용후에도 유해가스의 발생과 신체 접촉에 따른 위험성이 거의 없는 새로운 화학물질이다.

특히 이 두제품은 기존의 식각방식이 아닌 박리형태로 이물질들을 세척함으로써 세정시간의 단축은 물론 식각에 따른 웨이퍼 및 디스플레이 소자의 부식 위험이 거의 없어 정밀제품 제조에 더욱 유리하다.

그동안 반도체 및 LCD의 세정물질로 주로 사용돼온 불산 및 질산은 맹독성 화학물질로 작업시 위험부담이 클 뿐만 아니라 작업후에도 각종 유독가스의 발생으로 환경문제를 유발시킴으로써 G7프로젝트 등 국내외적으로 대체물질의 개발이 지속적으로 추진돼 왔다.

이런 가운데 개발된 「GST-500」과 「FST-100」은 현재 한국전자, 오리온전기, 삼성전관 등 국내 주요 디스플레이 장치 생산 업체에 공급, 사용되고 있으며 LCD업체인 S사와 웨이퍼 제조 업체인 L사도 이의 양산 적용을 적극 검토중이다.

지원화학은 이에 따라 새로운 화학물질과 관련해 50여건 이상의 국내 특허를 출원한데 이어 국제특허 출원도 최근 완료했다.

이기원 사장은 『최근 이 제품을 국내 한 CRT 제조업체의 양산라인에 실제 적용해본 결과, 기존 불산 및 질산을 사용했을 때보다 20억원 이상의 제조 경비 절감이 가능했다』고 밝히며 『이에 따라 현재 전량 수입되고 있는 불산 및 질산 제품의 국산 대체는 물론 해외시장 개척에도 적극 나설 방침』이라고 밝혔다.

<주상돈 기자>