日 공업기술원, 차세대 반도체 재료 개발 추진

일본 공업기술원이 차세대 반도체 재료 개발을 위한 프로젝트를 추진한다고 「日本經濟新聞」이 보도했다.

일본 우정성 산하 공업기술원은 올해부터 5년간 탄화규소를 사용하는 차세대 반도체 소자 개발 프로젝트를 추진, 오는 21세기 초까지 탄화규소를 반도체 재료의 하나로 실용화할 방침이다.

탄화규소는 다이아몬드 수준의 경도를 지닌 세라믹의 일종으로 송전 제어기기, 전기자동차 구동기기 등 높은 전류를 사용하는 반도체 개발에 유용한 재료로 평가되고 있다.

탄화규소는 현재 일반적으로 사용되는 실리콘과 비교, 10배의 전압을 걸어도 성능이 떨어지지 않을 뿐 아니라 방전 전류도 기존의 3분의 1에서 4분의 1로 줄일 수 있다.

이같은 특성 때문에 재료가 얇아도 높은 전압에 견딜 수 있어 장치의 소형화에도 매우 유용할 것으로 기대되고 있다.

그러나 탄화규소는 높은 경도 때문에 가공이 어려울 뿐 아니라 반도체를 만들 때 결정구조가 변질될 위험이 높아 실용화되지 못하고 있다.

공업기술원은 이번 프로젝트를 통해 가공기술의 확립과 반도체 재료로 이용하기 위한 요소기술의 개발 등을 추진할 방침이다.

<심규호 기자>