삼성전자, 웨이퍼 자동반송 로봇 국산화

삼성전자가 그동안 전량 수입에 의존해온 반도체 웨이퍼 자동반송 로봇을 국산화했다고 13일 발표했다.

2년여 동안 총 10억원을 들여 개발한 이 제품은 가공이 끝난 웨이퍼들을 카세트에 적재해 다음 공정으로 이동시키는 장치로 그간 다이후쿠사 등 일본에서 전량 수입, 사용해 왔다.

로봇 전방에 부착된 카메라를 통해 웨이퍼를 정확하게 인식하는 위치보정 기술과 고속 충전에 의한 24시간 운전기능 및 시스템통합기술 등 첨단 로봇기술이 집약된 이 제품은 고청정 설계기술을 바탕으로 웨이퍼 카세트를 이동시키는 6촉관절 로봇과 자기테이프에 의한 주행계 및 무선수신이 가능한 운송제어기 등으로 구성돼 있다고 삼성 측은 밝혔다.

삼성은 이번 개발로 기존 일산의 수입대체 효과는 물론 인력난 해소에도 적지않은 도움이 될 것으로 보고 98년까지 생산기술센터에서 1백여대를 생산, 우선 자사 반도체 생산라인에 공급하는 한편 향후 3백㎜ 웨이퍼에 대응하는 제품 및 LCD용 자동반송로봇도 개발할 예정이다.

<김경묵 기자>