반도체장비·부품 국산화 활기

반도체장비용 각종 부품 및 모듈의 국산화 개발과 채택이 활기를 띠고 있다.

7일 관련업계에 따르면 소자 및 장비부품 업체들을 중심으로 챔버, RF제너레이터, 초음파 세정기, 온도조절장치(Chiller) 등 반도체장비 모듈은 물론 밸브, 필터, 튜브 등 각종 진공장비 및 가스 배관용 부품의 국산개발이 최근 본격화되고 있다. 또한 반도체장비 생산업체들도 최근의 반도체 경기 하락에 따른 장비 가격인하 추세에 대응,생산원가 절감과 제품 경쟁력 향상 차원에서 주요 부품의 자체 개발 및 국산대체를 적극 추진중이어서 반도체 장비 부품의 국산개발 및 대체는 더욱 활기를 띨 전망이다.

이에 따라 국내 개발되는 반도체 장비에 국산부품이 채용되는 사례도 최근 눈에 띠게 늘고 있으며 특히 외산 장비의 경우도 수리 및 노후 부품 교환시 국산부품으로 대체되는 사례가 급증하고 있다.

완성된 칩의 신뢰성 검사에 사용되는 번 인 챔버의 경우 이미 지난해 우진정공이 삼성전자와 공동으로 16MD램용 MBT 챔버를 국산한데 이어 하반기에는 64MD램용 챔버도 개발할 계획이다. 반도체 장비업체인 C社도 번 인 및 스테퍼용 챔버를 개발,출시 준비중인 것으로 알려졌다.

반도체 제조과정의 노광 및 에칭 공정중 과도한 열이 발생하는 전극판을 일정 온도로 유지시켜주는 온도조절용 모듈 부품인 칠러는 코삼,다산C&I,스피드엔지니어링 등 국내업체들에 의해 잇따라 개발되면서 이미 상당물량이 국산대체됐으며 현재는 해외수출까지 진행중이다.

에처, CVD 등 각종 첨단 반도체장비의 파워장치인 RF제너레이터를 국산화한 영신엔지니어링은 지난해 개발한 전계효과트랜지스터(MOSFET) 방식의 RF제너레이터가 주성,아펙스 등의 장비업체는 물론 소자업체들에까지 채용이 빠르게 확산되고 있는데 힘입어 올해는 기존 제품의 3분의 1 크기인 초소형 제너레이터의 개발 및 양산도 적극 추진할 방침이다.

웨이퍼 세척용 모듈장비인 초음파 세정기의 경우 경일초음파가 지난해부터 메가소닉 장비까지 양산해 이미 국내 수요의 40% 이상을 국산대체했으며 올해는 LCD용 및 1.6MHz 제품도 선보일 예정이다.

밸브, 필터, 튜브 등 각종 진공장치 및 가스 배관용 부품의 국산화 개발도 본격화되고 있다. 가스공급장비 업체인 한양기공은 피팅 및 튜브 부품의 표면 처리에 필수적인 EP(Electronic Polishing)기술을 적용한 가스 캐비넷용 부품 개발에 본격 나섰다. 소자업체인 현대전자도 지난달 「장비부품 국산화 전시회」를 개최하고 각종 반도체 장비용 부품의 국산화에 동참할 중소 협력업체를 모집중이며 연금사, 재림엔지니어링 등 장비부품 전문업체들 또한 플랜지, 클램프 등의 진공 부품은 물론 트랜스듀서,레귤레이터 등 가스배관용 부품의 생산확대 및 개발을 본격 추진한다.

이러한 장비부품의 개발 확산 추세와 관련해 한 업계 관계자는 『국내 반도체산업의 경쟁력 향상 차원에서도 이러한 장비부품의 개발은 필수적』이라고 전제하고 『과거에 비해 상당히 발전한 편이지만 아직도 국내 부품업체들의 대부분이 금형이나 사출이 아닌 수작업 형태의 부품생산에 머무르고 있어 양산성 면에서는 일본업체들에 비해 많이 뒤떨어진 상태』라고 지적했다.

<주상돈 기자>