日 통산성, 반도체 업계에 PFC 배출억제 요청

일본 통산성이 반도체업계에 대해 반도체 제조공정에 사용되는 카본계열 가스(PFC)등 지구온난화 효과를 가져오는 가스의 배출억제 대책을 세울것을 요청했다.

「日本經濟新聞」에 따르면 日통산성은 오는 12월 교토에서 개최되는 지구온난화방지 회의를 앞두고 반도체제조업계에 대해 공정에 사용되는 PFC와 세정과정에서 사용하는 유황계열 가스(SF6)의 배출억제 대책을 이 분야에서 앞서가고 있는 미국 수준으로 마련해 줄것을 요청했다.

이러한 가스는 다른 가스에 비해 온실 효과가 커 배출 규제 요구도 높은 반면 아직까지 대체가스나 회수, 분해기술이 개발되지 않아 사용 규제가 어려운 실정이다.

미국의 경우 정부와 업계가 이들 가스의 배출을 억제 시키기 위한 각서를 교환, 각 기업들이 대체가스 및 회수, 분해기술을 개발하고 있다.

통산성의 이번 업계에 대한 요청은 일본이 지구온난화방지회의의 주최국이라는 점을 감안, 미국 수준의 대책 마련이 불가피한 것으로 판단했기 때문이다. 통산성은 앞으로 반도체제조업체로 하여금 PFC배출억제를 위한 계획수립 및 배출량을 보고토록할 계획이다. 또한 오는 4월11일 개최될 예정인 세계반도체회의에서 유럽 업계에 대해서도 같은 형태의 참여를 요청할 방침이다.

한편 반도체업계는 이들 가스의 배출억제가 반도체 제조원가의 상승요인이 될 가능성이 클 것으로 분석하고 있다.

<박주용 기자>