64MD램 전공정 구축비용 5억7백만弗

64MD램을 생산하기 위한 전공정장비 구축비용은 2백㎜(8인치) 웨이퍼 월 2만장 처리능력을 기준으로 5억7백만달러가 소요되는 것으로 조사됐다.

최근 반도체산업협회와 세미코리아가 조사한 「전공정장비 소요현황」자료에 따르면 64MD램 생산을 위한 전공정라인 구축비용은 16MD램의 경우(3억5천1백만달러)보다 45% 정도 늘어날 것으로 예측됐다. 이는 스테퍼를 제외하고는 16MD램용 2백㎜ 웨이퍼 가공장비를 64MD램 생산에도 사용할 수 있어 라인당 소요대수가 늘어나는 것 이외에는 신규장비 구축으로 인한 추가부담 발생요인이 적기 때문으로 풀이된다.

주요 장비별 투자액을 보면 디자인룰의 협소화에 따라 업그레이드 제품으로의 교체가 불가피한 스테퍼가 16MD램 생산라인 구축시보다 4천5백만달러 늘어난 1억달러로 가장 많고, 드라이에처는 소요대수가 11대 늘어난 32대가 필요한 것으로 조사돼 투자비용도 3천만달러가 증가한 1억달러에 이를 것으로 예상된다.

평탄화 CVD와 LP CVD도 일부 기능향상 제품의 교체와 소요대수 증가로 16MD램 생산라인 구축시보다 각각 1천5백만달러와 2천만달러가 늘어난 3천5백만달러와 5천만달러에 달할 것으로 보인다.

이밖에 스퍼터, 웨트프로세스 등의 장비비용은 종전과 비슷한 수준이거나 15% 내외의 소폭상승에 그칠 것으로 전망됐다.

한편 주요 공정별 스텝 수는 스테퍼 24개, 코터&디벨로퍼 34개, 웨트프로세스 44개 등 총 2백65개에 이르고 이에 따른 전체 전공장비의 소요대수는 스테퍼 30대, 애셔 28대, 퍼니스 25대 등 총 2백14대가 소요되는 것으로 조사됐다.

반도체산업협회의 한 관계자는 『이번 64MD램 전공정장비 소요현황은 16MD램 장비의 가격하락과 월 2만장 웨이퍼 가공능력을 기준으로 집계한 것인 만큼 당초 예상보다 상당부분 적게 산출된 부분들이 많다』고 전제하고 『생산능력확충(램프업)시에는 이보다 15∼30% 정도 추가로 투자돼야 할 것』으로 내다봤다.

<김경묵 기자>