코삼, 일본에 온도조절기 역수출

반도체 장비업체인 코삼이 최근 국산화에 성공한 3채널 온도조절기(Chiller) 「CCS-TA0015M」을 일본에 역수출한다.

코삼(대표 김범용)은 최근 일본 동경일렉트론(TEL)社와 총 12대의 반도체용 3채널 온도조절기 공급계약을 체결,오는 27일 1차 선적에 들어가며 연차적으로 공급 물량을 늘려 나가기로 했다고 22일 밝혔다.

코삼이 수출하는 「CCS-TA0015M」은 대당 가격이 6천만원 정도로 TEL은 이 제품을 자사가 생산하는 각종 반도체 및 LCD용 제조장비에 장착할 것으로 알려졌다.

반도체용 온도조절기는 반도체 제조과정의 노광 및 에처 공정 중 과도한 열이 발생하는 전극판을 냉각수 순환을 통해 일정 온도로 유지시킴으로써 고온으로 인한 웨이퍼 파손 및 에러 발생을 방지해 주는 반도체 장비용 모듈 제품이다.

코삼측은 이번 세계적인 트랙 장비 생산업체인 TEL에 대한 수출은 향후 트랙 장비는 물론 에처,CVD 등 온도조절기를 필요로하는 각종 반도체장비 생산업체들을 상대로 한 해외 수출 확대가 가능케됐다는 점에서 큰 의미가 있다고 설명했다.

코삼은 지난 93년 1채널 온도조절기 및 온습도 컨트롤러의 개발을 시작으로 최근 3채널 제품도 국산화에 성공함으로써 LG반도체, 삼성전자 등 국내 반도체 업계에 1천대 이상을 공급,수입 대체한데 이어 이번에는 반도체 장비의 종주국인 일본에까지 역수출하게 됐다.

코삼이 개발한 3채널 온조조절장비는 각종 복잡한 컨트롤 장치들을 단일 보드화,기존 장비에 비해 제조 비용의 절감은 물론 업그레이시 보드 교체만으로도 모든 작업을 완료할 수 있는 장점을 지녔다. 또한 기존 프레온 냉매 대신 R-134a,R-404a 등의 새로운 물질을 냉매로 사용함으로써 오존층 파괴의 환경 문제에 대응했으며 자기력으로 구동되는 마그네틱 펌프를 채용,냉매의 유출을 원척적으로 방지한 것이 특징이다.

김정언 상무는 『이번 개발한 3채널 온도조절기는 가격 및 성능면에서 외산에 비해 월등히 우수하다』고 말하고 『올해는 이 제품의 본격적인 공급과 함께 장비의 소형화 추세 및 환경 문제에 대응,현재 개발 완료 단계에 있는 열전소자를 이용한 초소형 온도조절기도 오는 하반기까지는 상품화할 방침』이라고 밝혔다.

지난 93년 일본 냉동기 전문업체인 라스코와 국내 코어 인터내셔날社가 합작설립한 코삼은 현재 일본 회사의 지분이 5% 미만인 국내업체로 온도조절기 및 온습도 컨트롤러의 개발 및 생산을 통해 지난해 1백20억원의 매출을 올렸으며 올해는 3백억원 이상의 매출을 목표로하고 있다.

<주상돈 기자>