피케이, 반도체장비 시장 진출... 웨이퍼세정장비 국산화

반도체 제조용 포토마스크 전문생산업체인 피케이(대표 정수홍)가 웨이퍼 세정장비 및 국소 클린룸 설비를 중심으로 반도체장비 시장 진출을 본격화한다.

그동안 포토마스크에 주력해온 이 회사는 지난해 하반기부터 미국 CFM社의 웨이퍼 세정 시스템을 국내에 공급, 20대 이상을 판매한데 이어 올해부터 이 제품의 국산화를 추진할 계획이다. 또한 독일 인팝社의 「SMIF시스템」 관련 각종 자동화 설비의 설치 및 운영 사업에도 진출할 방침이라고 28일 밝혔다.

이 회사가 공급중인 CFM 시스템은 세척 단계별로 여러개의 챔버를 사용하는 기존 웨이퍼 클리닝 장비들과 달리 한 챔버 내에 웨이퍼를 고정시키고 각 단계별로 다른 화학 물질을 번갈아 주입시키는 독특한 방식으로 피케이는 올해 정보화촉진기금 등 정부지원 자금과 자체 투자를 통해 이 시스템의 국산화를 추진할 방침이다.

이 회사는 또한 전체 클린룸 설비 중 일부 필요 영역만 클래스 0.1 이상의 초청정 상태를 만들어 줌으로써 클린룸의 설치 효율을 극대화시키는 국소 클린룸 설비 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템의 설치 및 운영 서비스도 올해부터 본격화할 계획이다.

피케이는 CFM시스템과 SMIF시스템의 공급 및 국산화를 위해 별도의 추진팀을 구성하고 올해 총 50억원을 투자, 천안공장에 CFM 시스템 관련 연구실 및 조립 라인을 건설할 계획이다.

<주상돈 기자>