日도시바, FED 기본소자 개발

일본 도시바가 차세대 평판디스플레이로 주목되는 전장방출디스플레이(FED)의 신소자를 개발했다고 「日經産業新聞」이 최근 보도했다.

이에 따르면 도시바는 FED 심장부인 음극을 돌기형상으로 하고 또 그 재료로 전자를 쉽게 방출하는 6硼化 란타눔을 채용, 저전압에서도 안정적으로 작동하는 기본소자를 개발했다.

FED소자는 기본적으로 「3극관」으로 불리는 진공관과 거의 같은 구조인데 지금까지의 개발에서는 음극재료로 몰리브덴이나 실리콘을 이용해 왔다. 성능면에서는 6硼化란타눔 쪽이 우수한 것으로 알려져 있는데 종래기술에서는 고품질의 안정적인 돌기를 형성할 수 없었다.

새 소자는 음극을 미세한 돌기모양으로 하고 그 주위를 전극으로 감싸고 있다.

돌기 밑바닥은 최소 0.8미크론으로 각 소자의 전극에 전압을 가하면 돌기 끝에서 전자가 방출한다.

돌기 형성에는 실리콘으로 만든 주형에 음극재료를 서서히 퇴적시키고 이후 주형을 제거하는 방법을 이용한다.

도시바는 새 소자의 기본성능을 조사하기 위해 소자를 종횡으로 1백줄씩 평판 위에 나열, 집적한 試作品을 만들어 실험했다.

이 결과 각 화소가 28V의 전압에서 전자를 안정적으로 방출하는 것을 확인했다.

<신기성 기자>