DI, 반도체 핵심장비 스테퍼 국내생산 추진

DI(대표 박원호)가 반도체 전공정 핵심장비인 스테퍼의 국내생산을 추진한다.

번인보드 및 번인시스템 등 후공정 장비생산에 주력해온 이 회사는 늦어도2000년까지 스테퍼를 생산한다는 방침을 세우고 최근 미국의 전문업체인 「SUSS 어드밴스트 리소그래피社」와 지분 참여를 통한 제휴관계를 체결했다고 8일 밝혔다.

박원호 사장은 이와 관련, 『이달 초 SUSS社에 1백50만 달러의 지분을참여했다』고 밝히고 『지분참여 조건에는 향후 기술공여 및 국내 제조권리가 포함돼 있다』고 설명했다.

박 사장은 또 올초부터 「스테퍼 추진팀」을 구성해 반도체 3사의 연구진과 물밑에서 꾸준히 작업을 해왔다고 밝히고 이미 반도체 3사 관계자들과 SUSS社에 대한 實査를 마친 상태라고 덧붙였다.

DI가 국내생산을 추진중인 스테퍼는 X선 노광기술을 이용한 것으로 회로선폭 0.2미크론 이하의 2백56MD램 및 1기가 제품의 마스크 제작에 적합한 제품으로 알려졌다.

DI는 또 스테퍼 빔 照射를 위한 방사선가속기는 영국 옥스포드와 일본스미토모 제품 가운데 선정할 계획인데 이에 앞서 98년에 자체 X선 빔 장비가 부착된 컴팩트타입의 스테퍼를 들여와 R&D용으로 시가동할 예정이다.

현재 X선 스테퍼시장은 SUSS社와 SVG社가 선발업체로 SUSS社는 지난 86년부터 이 제품 개발에 나서온 전문업체로 최근 X선을 이용한 제품 10대를 IBM에 공급한 것으로 알려졌다.

업계 전문가들은 일단 『DI의 스테퍼 생산 추진은 성공 여부를 떠나 그간 성역시돼온 스테퍼의 국내생산을 꾀한다는 점에서 의미가 있다』고 평가하고 『최근 스테퍼시장이 니콘·캐논 등 일본 중심에서 점차 유럽 및 미국쪽으로 분화해나가는 추세라는 점을 감안할 때 성공가능성도 적지 않을 것』으로 내다봤다.

<김경묵 기자>