AMK, 8일 실리콘에치 DPS센츄라 발표회

어플라이드머티리얼즈코리아(AMK)는 8일 오후 1시부터 서울 라마다 르네상스호텔에서 「실리콘 에치 DPS센츄라」신제품 발표회를 겸한 신기술 세미나를 개최한다.

이 제품은 실리콘 에칭을 통한 고밀도 플라즈마 공정기술을 이용해 회로선폭 0.25미크론 이하의 소자생산에 적합하고 높은 생산성, 웨트클린 시간 사이의 처리량 증가 등으로 기존제품의 약 2배 정도인 시간당 40장 이상의 웨이퍼를 처리할 수 있는 게 특징이라고 AMK측은 밝혔다.

<김경묵 기자>