3월 이후 잇따른 납품연기와 주문 취소에도 불구하고 지난 4월 높은 증가율을 보였던 일본 반도체제조장비 수주액이 지난 5월 감소세로 돌아섰다. 일본반도체제조장치협회(SEAJ)가 최근 발표한 반도체장비통계에 따르면 지난 5월 일본 반도체장비수주액(수입포함)이 전년동기대비 1.8% 감소한 4백65억9천만엔을 기록했다고 「日經産業新聞」이 최근 보도했다.
특히 조립용 장비는 25억8천만엔으로 전년대비 47% 급락했고, 웨이퍼가공장비도 12.4% 감소한 2백55억9천만엔을 기록했다.
또 5월 일본산 제조장비 수주액(수출포함)은 작년동기대비 14.6% 늘어난 8백70억7천만엔이었다. 장비별로는 웨이퍼프로세스용 장비가 5백79억1천만엔으로 전년동기대비 37.7% 증가했고, 검사용장비는 24.9% 감소한 1백59억1천만엔, 조립용 장비는 26.2% 줄어든 62억7천만엔을 기록했다.
일본산 제조장비 수주액은 지난해 8월부터 12월에 걸쳐 평균 80%이상의 높은 성장을 계속해 왔으나, 올들어 성장세가 급속히 둔화되고 있다. 한편 반도체경기의 둔화로 지난 3월이후 반도체업체들로부터 납품연기와 취소가 잇달으면서 대형 스테퍼(축차이동식노광장치)업체인 니콘과 캐논이 생산계획을축소키로 결정했다. 니콘과 캐논은 전세계 제조장비시장의 80%를 차지하고있다.
<심규호 기자>
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