日 니콘, 광파간섭식 좌표측정장치 개발

일본 니콘社가 광파간섭식 좌표측정장치의 신제품을 개발, 판매를 시작했다고 「日經産業新聞」이 최근 보도했다.

광파간섭식 좌표측정장치란 회로원판인 마스크, 레티클 등의 회로선폭을레이저광선을 이용해 검사하는 장치로, 니콘의 신제품은 4나노미터이하까지측정이 가능하다.

신제품 「광파간섭식 좌표측정기 6i형」은 94년 7월에 발매한 5i형의 후속제품이다. 기존 5i형의 측정재현성은 10나노미터로 2백56MD램까지 검사할 수있는데 비해 새 제품 6i형은 4나노미터이하까지 검사가 가능해 4GD램에까지사용할 수 있다.

가격은 1억9천만엔으로, 출하 첫해에 10대 판매를 목표로 하고 있다.

<심규호 기자>