日시그마멜텍, 64MD램용 계측기 판매

일본 반도체제조장비업체인 시그마멜텍은 64MD램 제조장비용으로 미세한압력변화를 측정할 수 있는 계측기를 개발, 판매에 들어갔다고 「日經産業新聞」이 최근 보도했다.

박막센서를 사용, 미소한 기압변화를 검지할 수 있는 이 제품은 반도체제조장비 속을 흐르는 미세 기류가 빠져나갔는지 여부를 조사할 때 사용한다. 종래의 기종보다 고성능이고 크기도 폭 7cm , 두께 11cm로 작다.

또 반도체장비에 부착, 미소압력의 계측치에 맞춰 배기압력을 자동제어할수 있으며 디지털방식 압력계이기 때문에 원격조작도 가능하다.

이밖에 공조기의 필터상태나 클린룸의 압력상태도 감시할 수 있다. 가격은3만5천엔.

<신기성 기자>