日이시가와시마하리마중공업, 액정패널고속검사장치 개발

일본 이시가와시마하리마重工業은 액정패널의 결함을 어떤 화소수의 양산라인에서도 점검할 수 있는 고속검사장치를 개발했다고 日經産業新聞이 최근보도했다.

이에 따르면 이 회사는 액정패널 1장당 처리시간을 종전보다 2.5배 빠른 1분이하로 단축한 액정기판인라인용 검사장치 「AMPPT-MPS」를 개발했다는 것이다.

이 장치는 패널에 접촉하지 않고 불량을 검출하는 비접촉방식이기 때문에모든 화소수의 액정패널 양산라인에 적용이 가능하다.

이 장치는 패널상에 발생시킨 電界 강도에 따른 반사막의 휘도 변화를 전하결합소자(CCD)카메라로 화상처리해 트랜지스터의 불량이나 배선의 단선여부를 검출하는 방식으로 운용되며 결함상태는 PC에서 확인하게 되어있다.

이미 이 방식은 추출검사용으로 일부 실용화돼 있으나 지금까지 검사속도가 느린 것이 문제였다.이와관련 이시가와시마하리마는 「패널검사대의 구동속도나 위치결정의 정확도를 높여 일반적으로 이용되는 10인치 액정패널 1장당 검사시간을 1분이하로 단축했다」고 밝혔다.

현행 양산용 검사장치에선 全단자접촉방식이 주류로 1패널당 2천-4천개나되는 배선 각각에 1개씩 핀을 세우고 전류를 흘려 불량을 검출하고 있다. 그러나 이 경우 화소수가 1백만에 이르면 5천개이상의 핀을 접속해야 하는데정밀도 향상, 제작시간단축등 검사장치의 대응력에 문제가 있었다.

이시가와시마하리마의 검사장치의 경우 핀이 필요없고 광학적으로 결함을검출하는 비접촉방식이기 때문에 모든 화소수의 액정양산라인에 대응할 수있도록 했다.

이 장치의 가격은 대당 1억5천만-2억엔정도이며 이미 1호기를 대형 액정업체로 부터 수주했다.

<신기성기자>