청송시스템, 국내서 에처·CVD 생산 추진

청송시스템(대표 서성기)이 올 하반기부터 에처(식각장비) 및 CVD(박막증착장비)등 반도체장비를 생산한다.

지난 4월 한국베리안의 서성기 사장이 자본금 10억원을 출자해 설립한 청송시스템은 6월부터 에처·CVD를 조립생산한다는 목표로 송탄공단내에 임대한 건평 5백평의 공장에 청정도 클래스 1000의 클린룸 등 설비를 구축중이다.

청송시스템은 그동안 한국베리안이 자체 개발한 3백밀리 폴리에처와 HDP CVD 등을 주력품목으로 생산할 예정이며 이를위해 연내에 60명의 인원을 확보하고 내년까지 자체공장을 신축, 옥사이드·메탈용 에처와 플라즈마CVD 등의개발·생산을 추진할 계획이다.

청송시스템의 관계자는 『청송시스템의 설립에 따라 한국베리안은 향후 이온주입기·스퍼터 등 주력품목의 개발·생산에만 주력할 계획』이라고 덧붙였다.

<정영태 기자>