피케이, 차세대 반도체용 PSM생산 추진

아남반도체기술의 자회사인 피케이(PK)社(대표 정수홍)는 내년부터 차세대반도체용 「페이스 쉬프트 마스크(PSM)」를 본격 양산한다고 4일 밝혔다.

피케이는 이를 위해 내달중 박사급 3명을 포함한 총인원 10명 규모의 전담연구소를 설립, PSM 관련 핵심기술 개발과 장비도입을 추진하고 빠르면 올해말부터 시생산에 착수해 내년중 월 1백장 정도를 양산할 계획이다.

PSM의 소요량은 64MD램 기준으로 반도체 생산에 필요한 총 20여장의 마스크 가운데 3∼4장에 불과하지만 초미세 회로선폭 디자인의 최대 문제점인 빛의 간섭으로 인한 해상도 저하를 막을 수 있어 최근 들어 본격화되고 있는 64M 및 2백56MD램 등 다음 세대 메모리와 고성능 ASIC 등 서브 하프 미크론급반도체의 개발 및 상품화 지원에 필수적인 제품이다.

PK측은 『PSM이 차세대 반도체의 양산에 편승해 수요가 폭발적으로 늘 것으로 예상되지만 그간 재료 및 제조공법의 특허문제 등 까다로운 조건 때문에 국산화에 어려움이 많아 16MD램 3세대 제품부터 美·日 등 외국제품에 상당 부분 의존해왔다』고 설명하고 『PSM연구소 설립을 계기로 고집적도 D램은 물론 LCD용 대형 마스크의 양산기술도 확보할 것』이라고 덧붙였다.

<정영태 기자>