일 스미토모전공, 갈륨비소 웨이퍼 실용화

일본 스미토모전기공업이 직경 6인치 갈륨비소 웨이퍼의 실용화에 길을 열었다고 일본의 "일간공업신문"이 28일 보도했다.

이에 따르면 이 회사는 독자적으로 개발한 갈륨비소결정 추출법 VCZ법을 활용, 6인치 웨이퍼에서 4인치와 동등한 정질을 확보하는데 성공했다고 밝혔다는 것이다. 6인치의 제품화는 이번이 세계 최초다.

스미토모전기공업은 98년 봄 본격 출하를 목표로 내년 초부터 샘플출하를 개시하고 그 다음해에 양산체제를 구축할 방침이다.

갈륨비소 반도체는 절전이나 고주파 특성으로 이동통신용 부품재료로서 수요가 증가하고 있다. 반도체재료의 생산효율이 4인치웨이퍼에 비해 2배 가까이증가하는 6인치 웨이퍼의 실용화는 경비절감에 크게 기여할 것으로 보인다. <신기성기자>