한국과학기술연구원(KIST.원장 김은영)은 총 15억원을 투입、 전계발광디스플레이 FED 의 전용 개발장비로 구성된 실험실을 준공했다고 21일 밝혔다.
이 실험실은 일반적으로 반도체장비를 FED개발용으로 변경해 사용하는 것과달리 절연막성장 및 열처리를 하는 4채널 전기로를 비롯해 금속 증착기、 전자선 증착기、전자선 단결정 성장장치 등 FED개발을 위한 전용장비로 구성 됐는데 KIST는 장비의 상당부분을 자체 제작했다고 밝혔다.
<이창호 기자>
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