YS&I, 이온소스 개발

포항 소재 반도체 장비업체인 VS&I(대표 김도윤)는 그동안 전량 외국에서 수입해 사용해오던 이온빔 발생기(이온 소스)의 자체 개발에 성공, 반도체 생산성을 한층 높일 수 있게 됐다고 30일 밝혔다.

VS&I는 지난 93년부터 1억여원의 개발자금을 투입, 국내 처음으로 빔 직경 6cm의 이온 소스 개발에 성공하고 국내 대학 및 연구소와 반도체업체 등에 공급을 시작했다.

VS&I가 개발한 이 이온소스는 "카우프만" 방식을 채택, 기존의 "엔드홀" 방식에 비해 이온 에너지가 높고 고진공에서 사용할 수 있으며 PWM(Puise Widt h Modulation)방식의 스위칭 모드 전원공급장치를 탑재, 안정성을 크게 개선 한 점이 특징이다.

이온빔 발생기는 클리닝 및 어시스트 데포지션 공정을 거쳐 반도체 표면의 코팅막이 벗겨지는 것을 방지해주는 장치.

VS&I는 이번에 개발한 이온소스를 포항공대 연구소와 일부 광학회사에 필드 테스트를 의뢰한 결과 우수한 성능을 인정받았다고 설명하고 향후 고품위 반도체 생산에 적용, 반도체 품질향상에 크게 기여할 수 있을 것으로 기대하고 있다. 이번 이온소스의 국산화로 그동안 대당 4만달러선에 이르던 공급가를 절반 이하로 낮출 수 있게 됐으며 유지보수및 AS 작업의 신속성도 크게 높일 수있을 것으로 기대된다.

VS&I사는 이번 이온소스 외에도 표면구조 분석기(RHEED)의 개발도 완료단계 에 있어 곧 출시할 예정이라고 밝혔다. <이경동 기자>