텐코코리아 박막필름 측정장비 공급

반도체용 계측장비전문업체인 텐코코리아(대표 최종)가 반도체제조용 박막필 름측정시스템 "프로메트릭스 UV-1250SE"의 국내공급을 시작했다. 이 회사의 박막필름측정시스템은 프랑스의 전문업체인 소프라(SOPRA)사와의 기술제휴로 개발된 제품으로 반도체 제조에 사용되는 단층 및 다층박막필름을 측정하는 장비다. 텐코코리아는 이번 프로메트릭스제품에 소프라사의 "SE"분석기술과 텐코의 UV 측정기술을 통합、 처리속도를 빠르게하고 사용하기 쉽게 만든 한편 다양한 박막필름제작용 애플리케이션에 사용될 수 있도록 응용범위를 크게 확대 한 것이 특징이라고 밝혔다. <이경동 기자>