케이씨텍, 반도체재료 합작법인 설립

반도체제조장비전문업체인 케이씨텍(대표 고석태)이 미국 ADCS사와 반도체제 조용 고순도 화학약품을 국내에서 생산, 공급하기 위한 합작법인을 설립한 다. 케이씨텍은 자사가 40%, 미ADCS사가 60%의 비율로 출자, 초기자본금 1백만 달러의 "한국ADCS"를 설립키로 합의, 현재 관계당국에 법인인가신청중이라고 15일 밝혔다.

양사는 "한국ADCS"에 총15억원을 투입, 초기제조공정인 증류공정으로부터 포장까지 최신일관공정을 갖추고 ADCS사가 보유하고 있는 특허기술인 이중증류장치 라는 정화기술을 활용, 고순도.고품질화학약품을 제조할 예정인데 대표이사는 케이씨텍의 고석태씨가 겸임키로 했다.

동사가 생산할 반도체제조용 고순도화학약품은 층간 절연막 재료로 최근들어 대용량 메모리 제품을 중심으로 사용이 늘고 있는 "TEOS(Tetra Ethyl OrthoS ilicate)"를 주력으로 TMP, TMB, POCl3, TCA등 5개품목에 이르고 있다.

한국ADCS는 이를 위해 경기도 안성 제2공단내에 1천평규뱌모의 부지를 확보 하고 1.4분기내에 공장착공에 들어가 연산 50톤규모의 공장을 설립, 올해 이 부문에서만 30억원이상의 매출을 올릴 방침이다.

동사가 주력생산할 TEOS는 부가가치가 높고 기술집약적인 반도체용 고순도화 학약품으로 "스텝 커버리지"가 좋고 오염을 최소화시켜 웨이퍼막 형성의 안정성을 높일 수 있는 장점이 있어 기존의 사일런 가스 베이스의 화학약품을 빠르게 대체해 나가고 있다. 국내 TEOS시장은 올해 30톤, 1천5백만달러규모 로 매년 50%이상 급속도로 확대될 전망이다.

케이씨텍은 이의 국내 생산으로 고순도의 화학약품의 안정적인 공급과 납기 단축, 서비스 개선은 물론 적지않은 수입대체 효과를 거둘 것으로 기대하고 점차 동남아등지로의 수출도 추진할 계획이라고 설명했다. <이경동 기자>