한국DNS, 웬스테이션 개발

한국DNS(대표 김광교)는 최근 반도체공정의 핵심장비중 하나인 웬스테이션(W et Station)의 개발을 완료하고 이달부터 조립생산을 시작한다.

한국DNS가 생산할 이 제품(사진.모델명 WS-620 820L)은 캐리어및 캐리어리 스 등 2가지방식으로 설계를 단순화.모듈화시켜 납기를 대폭 줄일 수 있으며디스플레이를 통한 대화형 조작방식을 채택, 사용하기 편리한 점이 특징이 다. 이 제품은 또한 반송 로봇을 장착하고 전면조작방식을 채용해 유지보수가 간편하며 호스트와의 통신기능을 보유, 공장자동화가 가능하고 실리콘 산화막및 질화막 에칭.레지스트 스트립처리기능들을 효율적으로 수행할 수 있는 장점이 있다.

한국DNS는 이달부터 일본DNS로부터 SKD부품을 공급받아 조립생산에 나서는한편 올해부터 국산화작업도 병행추진할 방침이다. <이경동 기자>