일 니콘, 256MD램 스테퍼 상품화

일본 니콘은 2백56MD램 양산용 스테퍼를 세계 최초로 상품화, 오는 96년부터 수주활동에 나설 방침이다.

"일본경제신문"의 최근 보도에 따르면 니콘의 새장비는 기존의 광원보다 파장이 짧은 엑시머레이저를 사용했기 때문에 선폭 0.25미크론과 초미세회로패 턴을 처리할 수 있다. 또한 광학렌즈를 고정시킨 기존방식은 넓은 면적에 초점이 맞지 않아 2백56MD램 등과 같은 대형칩 양산에 부적합했으나 니콘은 웨 이퍼와 회로원판을 이동시키면서 가장자리부터 처리해가는 "스캐닝기구"를 개발, 넓은 면적의 노광을 가능케 했다.

새로운 방식의 노광영역은 최대 25×33mm로 기존방식보다 2배 가량 넓어졌고처리능력도 8인치웨이퍼의 경우, 동사의 연구개발용 기종에 비해 40% 늘어난 시간당 60장이상을 처리할 수 있다. <주문정 기자>