도시바 칩 결합 검사장치 개발

【도쿄=공동연합】 일본의 주요 전자 기기 메이커인 도시바사는 컴퓨터 칩의 대량 생산과정에서 조그마한 결함이라도 찾아낼 수 있는 자동검사 장치를 개발했다고 지난 13일 발표했다.

도시바사는 반도체의 대량생산과정에서 생길 수 있는 회로 파괴, 구멍, 불순 물, 돌출, 테두리 흠집 등과 같은 결함을 찾아내는 포토리소그래피 마스크를 위한 새로운 장치를 개발했다고 밝혔다.

"MC-100" 으로 이름붙여진 이 기계는 64메가비트 D램 칩 대량 생산에 사용할수 있을 것이라고 이회사 대변인은 말했다.

이 대변인은 또 "도시바사는 이 제품을 곧 동사의 반도체 라인에 투입 하고 금년말부터 자회사인 도시바기계가 외부의 주문을 받을 것"이라고 말했다.