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베리안 이온임플랜더 수주 7백만불 규모

전자신문을 선호 매체로 추가

베리안은 최근 금성일렉트론으로부터 7백만달러 규모의 16MD램 생산용 이온 임플랜터를 수주했다고 15일 밝혔다.

베리안측은이번에 수주한 이온 임플랜터는 웨이퍼에 적정량의 이온을 주입 해 원하는 전기적 특성을 얻어내는 핵심 공정장비로 4대중 1대는 한미합작업체인 베리안코리아(대표 서성기)에서 생산.공급하게 된다고 밝혔다.

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