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미코씨엔씨, LCD 증착장비 세정 신기술 개발
미코씨엔씨(대표 이동근)는 LCD 증착장비의 오염 물질을 크게 줄여주는 열분해 공법의 세정 신기술을 개발했다고 4일 밝혔다.
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이번에 개발한 신기술은 기존 화학물을 통해 증착장비 챔버(chamber)를 세정하던 기술과 달리 열분해를 통해 오염된 챔버 알루미늄의 밀착력을 약화시킨 뒤 물리적으로 오염물을 박리하는 것으로 장비 부품 수명연장에 매우 효과적이라고 회사측은 덧붙였다.
이동근 대표는 “신기술 세정공법을 적용하면 챔버 부품 수명을 5배 연장시켜 제조업체별 LC.... - 최신자료
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