에이텍솔루션은 코엑스에서 열리고 있는 '세미콘코리아'에 참가해 반도체 장비에 사용되는 실리콘 제품들을 선보였다고 13일 밝혔다.
회사는 고객사의 산화 식각장비(Oxide Etcher) 수요가 증가하고 있어 실리콘 전극과 실리콘카바이드 링 등을 집중 소개했다.
실리콘 전극(Electrode)은 웨이퍼 에칭 기술에 사용되는 핵심 부품이다. 에칭은 회로 패턴을 만드는 미세가공 공정을 뜻한다. 실리콘카바이드링은 웨이퍼 주변에 장착돼 균일한 플라즈마 밀도와 에칭 속도를 유지하는데 기여하는 제품이다.
회사 관계자는 “기술력을 알릴 기회로 삼겠다”며 “8월 준공을 목표로 증축 중인 아산공장을 9월부터 본격 가동해 실리콘 웨이퍼 수요에 적극 대응하고, 생산능력 확대를 통해 성장 기반을 더욱 강화해 나갈 계획”이라고 말했다.
에이텍솔루션은 2022년 무역의 날 700만불 수출의 탑, 2023년 중소기업 유공자 포상 모범 중소기업인 부문 산업포장 등을 수상하며 성과를 인정받고 있다.
윤건일 기자 benyun@etnews.com
