파웰코퍼레이션(대표 강창수)은 최근 코엑스에서 개최된 대한민국 발명특허 대전에 참가, 실시간 플라즈마 측정이 가능한 '정전척(ESC)'을 소개했다고 8일 밝혔다. 이 기술은 국내 특허 출원·등록됐고 주요 5개국에도 특허 출원한 상태다.
파웰코퍼레이션은 플라즈마 센서가 부착된 정전척을 개발함으로 플라즈마 상태 측정의 새로운 방안을 제시할 수 있게 됐다고 설명했다. 평판형 플라즈마 밀도 센서가 부착된 ESC는 반도체 전공정장비의 플라즈마 상태 모니터링 외에도 관련된 센서들과 융합을 통해 4차 산업시대에 걸 맞는 AI 장비 제어를 가능케 한다. 또 장비 예지보전의 측면에서도 매우 유용하게 사용될 것으로 기대된다.
최근의 반도체공정에서는 높은 수율을 이유로 공정을 멈추지 않은 상태에서 공정 중 플라즈마의 상태를 알려는 요구가 높아지고 있다. 그럼에도 지금까지 반도체 전공정 장비에서 플라즈마 상태를 실시간 측정하는 센서는 없다. 상용되는 플라즈마 측정 센서로는 랑뮤어 프로브, OES, VI 프로브 등이 있지만 이 같은 센서는 플라즈마의 절대값을 측정 하는 것이 아닌 상대적인 값을 측정한다. 또 장비 가동 중에 실시간 측정이 어려운 단점이 있다.
강창수 파웰코퍼레이션 대표는 “ 반도체 공정에 사용되는 제품과 통합 솔루션 개발을 통해 국내 뿐 아니라 글로벌 장치사의 폭 넓은 요구에 대응할 것”이라고 말했다.
한편, 파웰코퍼레이션은 1999년 회사 설립 이후 반도체와 디스플레이에 필요한 장치·부품의 국산화와 수입 다변화를 추진해왔다. 이와 함께 소재·기술개발을 지속, 국내 유수의 반도체 회사와의 기술협업 및 제품을 공급하고 있다.
윤대원기자 yun1972@etnews.com
