대구경북과학기술원(DGIST·총장 국양)이 일본 수출규제로 피해가 예상되는 기업의 기술개발을 지원하기 위해 첨단 연구장비를 개방했다.

DGIST는 소재·부품·장비 관련 기술개발이 필요한 국내 중소기업을 위해 중앙기기센터를 확대 개방, 독자 기술개발을 지원한다고 17일 밝혔다.

DGIST 중앙기기센터는 국내 중소기업이 개발한 소재가 대기업 검증을 통과하도록 공정 플랫폼과 정밀 분석을 지원하는 시설이다. 국내 최고 수준 연구 플랫폼에서 소재〃소자에 대한 검증· 분석·실증이 가능한 곳이다.

DGIST는 중앙기기센터를 기업이 활용할 수 있도로 개방하고, 기술자문단을 꾸려 기술지원을 진행한다. 기술자문단은 기술분과 4개(소재분과, 로봇·자동차·장비분과, ICT분과, 생명·바이오분과)와 분석·실증분과 1개로 운영한다. 자문위원으로는 DGIST 소속 182명의 교수·연구원·기술원이 참여한다.

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DGIST 중앙기기센터 첨단분석장비 모습(왼쪽부터 반도체소자 검사용마이크로스코프, BIO-TEM, 광전자분광표면분석기, 전자빔리소그래피 시스템)

기술자문단은 전용 홈페이지를 통해 기업의 애로기술을 접수하며, 접수된 내용은 신속하게 관련 분과와 연구자를 연결해 기술 진단과 일대일 현장 중심 기술 자문을 진행한다. 아울러 산·학협력 인턴십 프로그램과 개선기술에 대한 특허 컨설팅도 지원할 예정이다.

중앙기기센터는 현재 국내 최고 수준의 반도체 FAB(소자클린룸)을 보유하고 있다. 실리콘계 반도체 공정, MEMS, 통신소자, 센서, 마이크로가공, 계측시뮬레이션 및 나노·바이오분석을 위한 공용장비 등 총 170여대 장비가 구축돼 있다.

DGIST는 현재 중앙기기센터에서 반도체 미세박막용 전구체 제조기업에 TEM(투과전자현미경)을 활용한 극미세 나노분석기술을 제공, 대기업과 해외기업에 납품하기 위한 유효성 테스트를 진행하고 있다. 또 반도체 블랭크 마스크 소재제작 유망기업에 대해서는 최신 구조〃성분〃분광 분석을 제공하고 있으며, 일본수출규제로 이슈가 된 포토레지스트 개발 기업에는 테스트베드를 제공, 국산화를 돕고 있다.

국양 총장은 “DGIST의 우수한 연구 인프라시설 활용과 특화연구 분야 자문을 통해 기업이 어려움을 극복할 수 있도록 최선을 다하겠다”고 밝혔다.

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4대 과학기술원 소재·부품·장비 기술자문단 안내포스터

대구=정재훈기자 jhoon@etnews.com