국내 연구진이 대형 유리기판 두께 불량을 안정적으로 검출하는 측정기술을 개발해 상용화에 성공했다.
한국표준과학연구원(원장 박상열)은 지종한 광학표준센터 박사팀이 강한 진동 환경에서도 대형 유리기판 두께를 실시간 측정하는 센서를 개발했다고 3일 밝혔다.
이 기술은 광계측 전문기업인 노비텍이 이전받아 상용화 제품을 개발했고, 최근 글로벌 유리 전문기업과 제품 공급 계약까지 체결했다.
유리기판 두께 측정은 최근 유리기판 시장 부상으로 주목받는 기술이다. 유리기판은 액정표시장치(LCD) 핵심부품이다. 수 미터에 달하는 유리기판을 불량 없이 만들기 위해서는 모든 면적이 균일한 두께를 유지해야 한다. 한 곳의 불량도 화면 왜곡으로 이어진다. 하지만 진동이 많은 공정에서 유리기판 굴곡을 완벽하게 검사하는 것은 불가능하다.
연구팀은 센서에 세계 최고 수준의 진동 둔감 성능을 구현해 문제를 해결했다. 그동안 업계는 빛을 유리기판에 반사시키는 '반사식 간섭계' 방식을 쓴 반면에 연구팀은 빛을 통과시키는 '투과식 간섭계' 방식을 도입해 진동 영향을 최소화 했다.
연구팀은 두께 측정에 필요한 필수 정보인 '굴절률'도 함께 측정해 두께 측정 과정을 단순화 했다. 기존에는 굴절률을 별도 과정으로 측정한 뒤 두께를 파악했다. 반면에 이번에 개발한 기술은 센서 하나로 굴절률까지 함께 알 수 있다.
기술이전 업체인 노비텍은 이 기술을 이용해 유리기판뿐만 아니라 태양광패널, 실리콘 웨이퍼 분야에도 진출할 계획이다.
진종한 박사는 “유리기판 생산 공정에 적용 가능한 최적의 측정기술을 개발했다”며 “기존의 외국산 센서로는 대응이 불가능한 두께 및 굴절률 동시 측정을 실현했다”고 말했다.
대전=김영준기자 kyj85@etnews.com
