출연연구기관이 중소기업과 공동개발한 첨단기술이 삼성전자 반도체 생산라인에 적용됐다.
한국기계연구원(원장 임용택) 플라즈마연구실 송영훈 박사팀은 플라즈마 전처리장치가 삼성전자 반도체 생산 라인에 현재까지 100대 이상 설치됐다고 21일 밝혔다.
이 기술은 기계연과 엘오티베큠(대표 오흥식)이 ‘반도체·디스플레이 분야 진공펌프 수명연장을 위한 저압 플라즈마 장비개발사업’의 일환으로 공동 개발했다.
이는 반도체 웨이퍼 생산 공정에서 나오는 지구온난화가스로 불리는 과불화 화합물(PFCs)을 처리하는 첨단 장비다.
지난 2년 간 양산공정에 적용한 결과 2차오염 물질 발생이 없는 걸 확인했다. 또 배기가스를 처리하는 진공펌프 수명을 획기적으로 늘릴 수 있다는 것도 확인했다. 운전비용은 이 때문에 기존공정 대비 10분의 1로 줄일 수 있다는 것이 연구진의 설명이다
기존에는 일부 반도체 공정라인에서 공정부산물이 축적되면서 진공펌프가 고장 나 한 달 전후에 한 번씩 진공펌프 교체 및 생산 중단이라는 불편과 비용 상승이 초래됐다.
노명근 엘오티베큠 기술연구소장은 “삼성전자 생산라인에 진공펌프 8000대가량을 공급했고, 삼성전자 진공펌프 총물량은 4만~5만대로 추산된다”며 “올해 말까지 플라즈마 전처리장치를 100대 추가 공급할 계획”이라고 말했다.
노 소장은 또 “삼성전자는 이 진공펌프를 생산성과 효율성에 따라 플라즈마 전처리장치로 교체 중”이라고 덧붙였다.
연구책임자인 송영훈 기계연구원 박사는 “이 기술의 실용화 요인은 출연연 원천기술 개발과 중소기업 제품 개발, 수요자인 대기업과의 공조를 꼽을 수 있다”고 말했다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.com
