어플라이드머티리얼즈, 저온폴리 PECVD 출시

　글로벌 반도체 및 디스플레이 장비 업체인 어플라이드머티리얼즈는 고성능 모바일 디스플레이 제조를 위한 플라즈마화학증착기(PECVD) ‘AKT-20K PX PECVD’를 출시한다고 7일 밝혔다.

　이번에 출시한 장비는 스마트폰과 스마트패드 등에 탑재되는 고성능 유기발광다이오드(OLED) 및 LCD 패널을 제조하기 위한 장비다. 이 장비는 5세대(1300×1500㎜) 유리기판에 균일도가 높은 필름의 증착을 가능하게 하는 저온폴리실리콘(LTPS) 방식으로 고해상도 디스플레이 패널을 제조할 수 있다. 또 기판의 크기 증가와 공정 속도의 향상으로 생산성을 향상시킬 수 있는 것이 특징이다.

　어플라이드머티리얼즈 측은 자사의 저온폴리실리콘 기술을 최신 멀티 챔버(Multi chamber) 플랫폼에 효율적으로 활용, 디스플레이 업체에 성능과 생산성 향상을 제공하게 될 것이라고 밝혔다.

양종석기자 jsyang@etnews.co.kr