주성엔지니어링, 우리LST에 MOCVD 공급

　발광다이오드(LED) 전공정 핵심장비인 유기금속화학증착장비(MOCVD) 국산화를 추진 중인 주성엔지니어링이 우리LST에 MOCVD를 공급한다. 최근 중소 LED 칩 업체를 중심으로 국산 장비 도입 노력이 이어지면서 MOCVD 국산화에 대한 기대감을 높이고 있다.

　우리조명그룹 LED 에피웨이퍼·칩 전문업체 우리LST는 오는 4월께 주성엔지니어링으로 연구개발(R&D)용 MOCVD 1기를 공급받을 예정이라고 8일 밝혔다. 이번 R&D 라인에 투입될 장비는 4인치 에피웨이퍼를 제조할 수 있는 규격이다. 외산 제품 대비 가격이 30% 정도 저렴하면서 생산성은 더 높은 것으로 알려졌다. 양사는 지식경제부가 추진중인 신성장동력 스마트프로젝트의 일환으로 지난해부터 ‘고품위 백색 LED 양산용 고생산성 MOCVD 장비개발’ 과제를 수행해 왔다. 정부는 내년까지 LED장비 국산화율을 40%로 끌어올리겠다고 밝힌 바 있다. 특히 우리조명그룹은 최근 중국 최대 규모 LED 칩 합작사 ‘짱수 칸양 코퍼레이션’ 설립에 지분 5%를 출자하는 등 LED 사업에 박차를 가하고 있다. 향후 LED 분야에서 양사간 협력 여부도 주목된다.

　이에 앞서 지난달에는 에피밸리도 주성엔지니어링으로부터 MOCVD 1기를 공급받은 바 있어 중소 LED 업체들을 중심으로 장비 국산화를 위한 노력이 지속되고 있다.

　우리LST 관계자는 “지식경제부 과제 수행을 통해 주성엔지니어링과 MOCVD를 공동개발해 왔다”며 “우선 연구개발용 장비 1기를 공급받아 양산 안정성 등을 시험할 예정”이라고 말했다.

안석현기자 ahngija@etnews.co.kr