디엠에스, 하이닉스에 건식식각장비 공급

반도체·디스플레이 장비 업체인 디엠에스(대표 박용석)는 반도체 전공정 핵심 장비인 건식식각장비(드라이에처)를 하이닉스반도체에 공급한다고 2일 밝혔다.

디엠에스 측은 지난 10월말 삼성전자로부터 메모리용 건식식각장비를 처음 수주한 이후 1개월여만에 얻은 성과로, 반도체 장비 시장에 성공적으로 진입하게 됐다고 덧붙였다.

이 회사는 작년 4월, 지식경제부와 하이닉스반도체가 대·중소기업 상생협력 프로그램으로 추진한 ‘성능평가 협력사업’에 참여, 건식식각장비를 하이닉스 양산라인에 적용해 성능을 검증받았다. 건식식각장비 시장은 일본업체인 텔이 주도하고 있으며, 국산화율이 낮아 그동안 자체 개발이 시급한 과제로 떠올랐었다.

디엠에스가 개발한 건식식각장비 ‘i-제미너스’는 40나노급 300㎜ 메모리 라인에 이미 적용됐으며, 차세대 메모리 라인에서도 성능도 검증하고 있다. 특히 간단한 구조에 콤팩트한 크기를 갖춰 다른 장비보다 소모성 부품 수가 적어 원가경쟁력이 높고, 장비 교체주기가 길어 가동률과 안정성이 높은 것이 강점이다.

양종석기자 jsyang@etnews.co.kr