에피밸리, ETRI와 6인치 에피 웨이퍼 개발 협력

발광다이오드(LED) 칩 전문업체 에피밸리(대표 장훈철)는 한국전자통신연구원(ETRI)과 ‘LED용 6인치 에피 웨이퍼 및 칩 공정 개발’에 대한 기술지원 협약서를 체결했다고 12일 밝혔다.

에피 웨이퍼는 LED 기초 소재인 사파이어 웨이퍼에 질화갈륨(GaN) 층을 성장시킨 것이다. 정육면체로 자르면 개별 LED 칩이 만들어진다. 에피밸리 에피 웨이퍼 제조·평가를 맡고, ETRI는 현재 보유중인 6인치 칩 제조라인 사용 및 공정기술을 지원해 내년 3월까지 개발 완료할 계획이다. 기존 2인치 에피 웨이퍼 공정을 6인치로 개선하면 LED칩 생산량이 35% 이상 증가하고 공정 단가는 40~50% 정도 절감할 수 있다.

장훈철 에피밸리 사장은 “최근 LED 칩 공급량이 부족해지면서 생산 규모 확대에 대한 연구가 원활하게 추진되고 있다”며 “ETRI와 6인치 에피 웨이퍼 공동 개발이 성공하면 기존 2인치 라인을 6인치 라인으로 직행할 수도 있다”고 말했다.

안석현기자 ahngija@etnews.co.kr