첨단 반도체·디스플레이 제조 공정에 친환경·청정 자기부상 기술이 적용된다.
한국전기연구원(KERI·원장 유태환 www.keri.re.kr)은 최근 반도체·디스플레이 제조 공정에서 이송분야에 이용할 수 있는 ‘자기부상 방식의 선형이송 시스템’을 국내 최초로 개발했다고 28일 밝혔다.
KERI 전동력연구센터와 공장자동화 설비기업 SFA가 공동 개발한 이 시스템은 별도의 동력변환장치 없이 직선으로 움직이는 선형추진시스템(선형유도전동기)과 자기부상 기술을 이용, 반도체·디스플레이 제조 공정에 필요한 대상물을 조용하고 신속하게 운반·처리할 수 있다.
선로의 규모와 분진, 소음 등은 대폭 줄고, 직선 레일뿐 아니라 곡선 형태의 레일에도 적용 가능하다는 것이 연구진의 설명이다.
이 시스템은 비교적 가벼운 화물을 천정에 위치한 선로를 통해 운반하는 ‘천정형’과 무거운 화물을 바닥 선로로 운반하는 ‘바닥형’ 2가지로 개발됐으며, 이 가운데 바닥형 이송 설비는 LCD·PDP·OLED 등 유리 원판 이송 시스템에 바로 적용할 수 있다.
전기연과 SFA 측은 LCD·반도체 공정 등의 청정실(클린룸)내 클린스토커시스템, 클린컨베이어시스템 등 수평 물류이송 장비에 적용은 물론 LCD 원판, PDP 원판 이송 로봇, 고청정 반송 자동화 설비, 나아가 놀이동산용 탑승 놀이기구 등에도 이용 가능하다고 설명했다.
현재 SFA는 반도체·디스플레이 제조 대기업에 이 시스템의 납품을 준비 중이다.
이경남 SFA 반송설비 그룹장은 “향후 차세대 반도체 제조공정 및 디스플레이(LCD·PDP 등) 제조 공정에서 청정 물류 이송 시스템으로 높은 활용도를 나타낼 것”이라 말했다.
또 구대현 KERI 전동력연구센터장은 “반도체·디스플레이 제조 공정 시장을 해외 선진국이 선점한 상황에서 국내 기술로 고청정 비접촉 자기부상 기술을 개발한 것은 우리나라 반도체 및 LCD산업 발전에 기여는 물론 공정 시장까지 리드할 수 있는 계기를 만들었다는데 그 의미가 있다”고 말했다.
창원=임동식기자 dslim@etnews.co.kr
