테스, 삼성전자에 PECVD ACL장비 공급

반도체 및 태양전지 장비업체인 테스(대표 주숭일)는 20일 공시를 통해 삼성전자에 41억원 규모의 플라즈마화학증착 비정질탄소박막(PECVD ACL) 장비(장비명:챌린저300ST/Challenger300ST)를 공급한다고 밝혔다. 이번 공급 수치는 작년 테스 매출의 9%에 해당하는 규모다.

이번 공급 장비는 반도체 장비재료 성능평가 사업인 ‘상생프로젝트’ 개발사업자에 선정된 테스가 국산화 장비로 삼성전자 양산라인에서 1년여에 걸쳐 평가를 마무리해 최근 양산 성능평가 인증을 받은바 있다.

테스 관계자는 “반도체 전공정 핵심 장비인 PECVD ACL장비의 고객을 하이닉스반도체에서 삼성전자로 다변화하며 고객다변화에 성공적으로 안착, 기술력과 성장성을 인정받게 됐다”며 “이 장비는 자체기술력으로 국산화한 장비로 외산장비의 수입대체 효과는 물론 공정미세화가 진행될수록 ACL 장비 수요가 늘어 앞으로 실적 향상에 크게 기여할 것으로 기대된다”고 말했다.

서동규기자 dkseo@etnews.co.kr