테스, 태양전지용 반사방지막 증착장비 개발 사업 선정

　반도체 및 태양전지 장비업체인 테스(대표 주숭일)는 20일 한국산업기술진흥원이 주관하는 ‘사업화연계기술개발사업(R&BD)’에 선정돼 30㎿급 태양전지용 대면적 고성능 반사방지막 플라즈마화학증착장비(PECVD) 개발을 수행한다고 밝혔다.

테스는 R&BD과제 선정을 통해 결정질 태양전지 제조 장비 중 가장 부가가치가 높은 반사방지막을 형성시키는 PECVD 개발을 완료하고 사업화시킬 계획이며 이번 사업화연계기술개발 사업선정으로 2년간 사업비 총 10억5000만원을 지원받는다.

테스는 작년 신재생에너지 기술개발사업인 ‘박막 태양전지용 PECVD’ 개발과 중기청이 주관하는 ‘박막 태양전지용 스퍼터링 장비’ 개발과제에 선정된 바 있어 이번 국책과제 선정으로 벌크 및 박막 태양전지의 핵심 제조장비의 사업화를 앞당길 수 있게 됐다고 설명했다.서동규기자 dkseo@etnews.co.kr