반도체 소부장

코닉시스템, 삼성전자에 급속 열처리장비 공급

반도체 및 LCD 장비 업체인 코닉시스템(대표 정기로)은 미국 어프라이드 매터리얼 및 맷슨 테크놀로지 등을 제치고 삼성전자에 33억원 규모의 급속 열처리장치인 RTP시스템을 공급권을 수주했다고 27일 밝혔다.

RTP시스템은 반도체용 300㎜ 웨이퍼의 급속 열처리 장비로 기존 장비를 시스템 일체형으로 개선하고, 자기부상 로테이션 모듈을 적용해 업그레이드 한 제품이다.

김순기기자 soonkkim@etnews.co.kr

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