원자력연, 8인치 NTD반도체 생산기술 개발

하이브리드카, 고속전철, 태양광발전소 등에 사용되는 대용량 고품질 실리콘 반도체를 국내 연구진이 개발하는 데 성공했다.

원자력연구원(원장 양명승) 하나로운영부 박상준 책임연구원팀은 연구용 원자로인 하나로에서 8인치 실리콘 단결정에 중성자를 조사, 실리콘 반도체를 생산할 수 있는 기술 및 장치를 개발했다고 18일 밝혔다. 여기에는 ‘중성자 핵변환 도핑(NTD: Neutron Transmutation Doping)’ 기술이 사용됐는데, 8인치 NTD 반도체 생산기술은 독일, 호주에 이어 세계에서 세번째다.

현재 NTD 반도체의 세계 시장 규모는 연간 약 150 톤(200억원 상당)으로 원자력연구원은 하나로를 이용, 세계 수요의 10%를 차지하고 있다. 이번 개발로 연간 생상량을 2배 이상 증가시킬 수 있게 됐다.

원자력연구원은 지난 2002년 하나로를 이용, 5인치 NTD 반도체를 생산하는 기술을 자체 개발해서 상용화했으며, 2005년부터 6인치 반도체도 생산하고 있다.

임인철 원자력연구원 하나로운영부장은 “NTD 반도체는 지구온난화를 막기 위한 그린에너지 분야에 널리 활용, 수요가 해마다 10 % 이상씩 증가하고 있다”며 “이번 기술 개발로 올해부터 본격 형성될 것으로 보이는 8인치 NTD 반도체 시장에서 우위를 점할 것”이라고 말했다.

설성인기자 siseol@etnews.co.kr