日 도쿠야마, 한국서 반도체·액정 현상액 증산

　도쿠야마가 반도체·액정패널 현상액의 한국내 생산을 크게 늘린다.

17일 니혼게이자이 신문에 따르면 일본 최대 실리콘 생산업체 도쿠야마는 연내 반도체와 액정 회로 생산시 사용하는 현상용액의 생산 능력을 증강키로 했다.

이를 위해 도쿠야마는 한국내 공동출자사의 생산 설비를 증설, 전사 생산 능력을 연 3만3000톤으로 10% 가량 늘릴 계획이다.

회사 관계자는 “한국·대만 등을 중심으로 반도체와 액정 생산이 증가세에 있다”며 “이번 증산을 통해 세계 시장점유율을 50%로 늘리겠다”고 말했다.

이번에 증산하는 현상액은 ‘테트라 메틸 암모니움 하이드로 옥사이드(TMAH)’다. 유리나 실리콘 등의 기판 위에 전자회로를 형성할 때 ‘포토레지스트(photoresist)’를 용해하는 현상액으로서 사용되는 제품이다.

도쿠야마는 야마구치현 소재 토쿠야마 제조소와 이바라키현의 카시마 공장 등 일본내 2개 공장에서 TMAH를 생산중이다. 지난 1995년 삼성정밀화학과 50:50 출자로 설립한 ‘한덕화학’의 울산공장까지 포함해 총 3개소에서 TMAH를 생산하는 체제다.

현재 이 회사의 연간 생산 능력은 3개소를 합해 총 3만톤. 특히 이번 증산은 한덕화학의 울산 공장에 집중된다는 게 도쿠야마 측 설명이다.

TMAH의 올 한해 세계 수요는 9만㎘(농도 25% 기준)다. 이 가운데 7만㎘가 한국과 대만에서 소비된다. 최근 반도체나 액정패널의 대형화에 따라 수요가 늘고 있다. 전자 부품의 세척에도 TMAH가 사용돼 용도 역시 확대되는 추세다.

현재 도쿠야마의 세계 시장점유율은 40% 미만이다. 하지만 올해부터 시작된 중장기 3개년 계획에 의거, 50%까지 늘린다는 전략이다.

류경동기자@전자신문, ninano@