에이피티씨, 국내 최초 300㎜ 산화물 식각장비 하이닉스 공급

에이피티씨(대표 김남헌, 허흥무 www.iaptc.com)가 하이닉스반도체에 300㎜ 웨이퍼용 산화물 식각 장비 2대를 잇달아 공급했다고 26일 밝혔다.

그동안 200㎜ 웨이퍼용 제품은 있었지만 300㎜ 산화물 식각 장비가 반도체 양산라인에 공급되기는 이번이 처음이다.

식각 장비는 반도체 웨이퍼 위에 레지스터나 하드 마스크로 형성된 회로 패턴의 하부막을 제거하는 공정에 사용되는 주요 장비로 어플라이드머티리얼스·램·도쿄일렉트론 등 해외 업체들이 주도해왔다.

하이닉스의 200㎜ 라인에 금속 식각 장비를 공급해온 에이피티씨는 이번에 공급한 300㎜ 산화물 식각 장비 공급을 위해 하이닉스와 1년여 기간 동안 공동 개발해 왔다.

오영근 에이피티씨 연구소장은 “에이피티씨는 플라즈마 발생 장치인 ACP(Adaptively Coupled Plasma) 소스에 대한 원천기술을 보유하고 있으며 산화물 식각에 코일 방식을 이용해 양산에 적용한 것은 이번이 처음”이라며 “이번 공급을 계기로 수입대체 효과를 기대할 수 있게 됐다”고 설명했다.

한편, 에이피티씨가 하이닉스에 공급한 300㎜ 산화물 식각 장비는 부품소재기술개발사업의 일환으로 산업자원부로부터 지원을 받아 수행한 과제를 통해 개발됐으며 300㎜ 금속 식각 장비도 하이닉스와 개발, 평가 중에 있다.

주문정기자@전자신문, mjjoo@